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宽禁带半导体材料工艺和器件失效分析中的AFM应用

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殷豪

布鲁克 应用科学家

      博士毕业于中国科学院上海技术物理研究所,微电子学与固体电子学专业,在读期间主要从事纳米电子学方法在半导体光电功能结构中的应用研究。毕业后加入布鲁克纳米表面仪器部,主要从事原子力显微镜及相关仪器的应用和技术服务工作。具有15年原子力显微镜的研究和技术经验。


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