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等离子体质谱在半导体用高纯材料的分析研究

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汪正

中国科学院上海硅酸盐研究所 研究员

       博士,博士生导师。中国科学院上海硅酸盐研究所研究员,材料谱学组分表征与应用课题组组长。曾先后负责科技部国家仪器研制重大专项、国家自然科学青年和面上基金、中科院仪器研制项目、中科院仪器设备功能开发技术创新项目和上海科委基金等。目前担任中国仪器仪表学会光谱仪器专业委员会委员、原子光谱专业委员会委员、离子色谱专业委员会委员以及中国质量检验协会检验检测设备分会应用原子光谱专业委员会的委员。         《Atomic Spectroscopy》、《Chinese Chemical Letters》和《光谱学与光谱分析》期刊编委。在国内外学术刊物Anal. Chem., J. Anal. At. Spectrom.,Spectrochim. Acta Part B,Anal. Chim. Acta等发表论文100余篇,出版学术专著2部,建立国家标准3项,行业标准5项,企业标准10余项。申请中国发明专利20余项,其中获授权专利15项。2010和2018年两次获得中国分析测试协会科学技术奖励( 排名均为第一)。


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