会议目录
分论坛五(30日9:00-12:00)
论坛名称:集成电路技术发展与分析仪器创新论坛
位置:信德厅
组织机构:中国仪器仪表学会分析仪器分会
中国科学院半导体所集成技术中心
冠名赞助:上海精测半导体技术有限公司
主持人:李超波(中国科学院微电子研究所)
王晓东(中国科学院半导体研究所)
冠名企业致辞(9:00-9:05) | |
9:05-9:45 | 报告题目:芯片行业用到的量测和检测设备概览 报告人:刘慧勇 杭州士兰微电子股份有限公司 先进功率系统研究院院长 |
9:45-10:10 | 报告题目:提升分析检测能力,助力集成电路材料发展 报告人:王轶滢 上海集成电路材料研究院 性能实验室总监 |
10:10-10:25 | 报告题目:上海精测AeroScan系列双束电镜最新进展 报告人:郑琦 上海精测半导体技术有限公司 应用工程师 |
茶歇(10:25-10:40) | |
10:40-11:05 | 报告题目:半导体检测与SEMI认证技术 报告人:闫方亮 北京聚睿众邦科技有限公司 董事长 |
11:05-11:30 | 报告题目:测试分析仪器在半导体器件与芯片制造中的应用 报告人:颜伟 中国科学院半导体研究所 高级工程师 |
11:30-11:55 | 报告题目:集成电路先进制程装备及工艺研究 报告人:屈芙蓉 中国科学院微电子研究所 高级工程师 |