分论坛五(309:00-12:00

论坛名称:集成电路技术发展与分析仪器创新论坛

位置:信德厅

组织机构:中国仪器仪表学会分析仪器分会

          中国科学院半导体所集成技术中心

冠名赞助:上海精测半导体技术有限公司

主持人:李超波(中国科学院微电子研究所)

        王晓东(中国科学院半导体研究所)

冠名企业致辞(9:00-9:05)


9:05-9:45

报告题目:芯片行业用到的量测和检测设备概览

报告人:刘慧勇 杭州士兰微电子股份有限公司 先进功率系统研究院院长

9:45-10:10

报告题目:提升分析检测能力,助力集成电路材料发展

报告人:王轶滢 上海集成电路材料研究院 性能实验室总监

10:10-10:25

报告题目:上海精测AeroScan系列双束电镜最新进展

报告人:郑琦    上海精测半导体技术有限公司 应用工程师

茶歇(10:25-10:40)


10:40-11:05

报告题目:半导体检测与SEMI认证技术

报告人:闫方亮 北京聚睿众邦科技有限公司    董事长

11:05-11:30

报告题目:测试分析仪器在半导体器件与芯片制造中的应用

报告人:颜伟 中国科学院半导体研究所 高级工程师

11:30-11:55

报告题目:集成电路先进制程装备及工艺研究

报告人:屈芙蓉  中国科学院微电子研究所    高级工程师


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