【内容简介】

产品表面的机械性能对产品的性能、寿命等指标影响很大。其中硬度作为最基本的机械性能参数之一及其重要。常规的硬度检测方法是压痕测试，包括维氏硬度法，洛氏硬度法等等。随着产品尺寸不断减小和薄膜在产品表面越来越多的应用，常规的测试方法难以测量纳米级浅表面的硬度。纳米压痕测试以其准确测量纳米级表面硬度而备受关注。 本报告从理论和实践两方面介绍纳米压痕测试，包括原理，局限，关键参数，标准测试方法和测试实例等。鉴于纳米划痕方法常用于检测薄膜的结合力，本报告还介绍纳米划痕方法。

【主讲人简介】

魏岳腾博士，1982年10月出生于福建省泉州市。2000年至2011年就读于清华大学材料科学与工程系本科及研究生，并与2011年获得博士学位。毕业后进入中国科学院高能物理研究所工作。2013年3月加入Bruker纳米表面仪器部担任应用科学家。