【内容简介】

原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）是一种具有原子级别高分辨率的新型表面分析仪器，它不但能像扫描隧道显微镜（STM）那样观察导体和半导体材料的表面现象，而且能用来观察诸如玻璃、陶瓷等非导体表面的微观结构，还可以在气体、水和油中无损伤地直接观察物体，大大地拓展了显微技术在生命科学、物理、化学、材料科学和表面科学等领域中的应用，具有广阔的应用前景。

本次研讨会，分析测试百科网将邀请行业专家，与大家共同探讨原子力显微镜技术，希望能对行业内工作者带来帮助和启发。

【会议时间】2021年8月10日 09:30-11:30

【日程安排】

【内容简介】

原子力显微镜助力纳米技术发展

自从纳米尺度下材料的新结构、新性能被广泛发现以来，无论是科研还是检测，都迫切地需要可在微纳范围内进行观测的工具。原子力显微镜因其高分辨率，高适应性以及多性能分析的特点，成为该领域不可或缺的分析仪器。

扫描电容显微镜在FA实验室的应用

扫描电容显微镜 (SCM) 通过在涂覆导电材料的尖端和样品之间施加电场来测量半导体表面电容的空间变化。通过确定离子注入表面中的二维掺杂浓度分布来表征半导体器件。可用于半导体器件的FA失效分析及半导体流程控制。本次讲座讲述其在FA实验室的应用。